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FTB300FP全自動(dòng) CMP 設(shè)備是捷芯與日本技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同開發(fā)的CMP設(shè)備。 該設(shè)備致力于高產(chǎn)能高性價(jià)比，并改進(jìn)了技術(shù)要求提高的平面度（GBIR、SFQR）。